傳感器的發(fā)展大體可分三個(gè)階段：第一階段是20世紀(jì)50年代伊始，結(jié)構(gòu)型傳感器出現(xiàn)，它利用結(jié)構(gòu)參量變化來(lái)感受和轉(zhuǎn)化信號(hào)。第二階段是20世紀(jì)70年代開始，固體型傳感器逐漸發(fā)展起來(lái)，這種傳感器由半導(dǎo)體、電介質(zhì)、磁性材料等固體元件構(gòu)成，是利用材料某些特性制成。如：利用材料的熱電效應(yīng)、霍爾效應(yīng)，分別制成熱電偶傳感器、霍爾傳感器等。第三階段是20世紀(jì)末開始，智能型傳感器出現(xiàn)并得到快速發(fā)展。智能型傳感器是微型計(jì)算機(jī)技術(shù)與檢測(cè)技術(shù)相結(jié)合的產(chǎn)物，使傳感器具有人工智能的特性。

圖表 9 全球傳感器發(fā)展歷程