甲基三乙氧基硅烷，也稱為三乙氧基甲基硅烷，英文簡稱MTES，化學式為C7H18O3Si，外觀為無色液體狀，可溶于乙醇、苯等有機溶劑，與強酸、強氧化劑不相容，易水解，具有易燃性，遇明火、高熱可燃燒分解。
　　甲基三乙氧基硅烷制備方法主要是，以甲基三氯硅烷、乙醇為原料，在溶劑存在條件下，于一定溫度下進行反應制得。除此之外，甲基三乙氧基硅烷還可以采用硅酸四乙酯、甲基二乙氧基硅烷、1,2-雙(甲基二乙氧基硅基)乙烷、二乙氧基甲基乙烯基硅烷等材料進行制備，技術路線較多。
　　在有機硅工業(yè)中，二甲基二氯硅烷是最為重要的有機硅單體，其生產(chǎn)會同時產(chǎn)生多種副產(chǎn)物，甲基三氯硅烷即為其中之一。工業(yè)副產(chǎn)物直接排放，不僅會造成環(huán)境污染，還會造成資源浪費。在環(huán)境保護、可持續(xù)發(fā)展戰(zhàn)略背景下，工業(yè)副產(chǎn)物綜合利用成為趨勢。甲基三乙氧基硅烷生產(chǎn)可以工業(yè)副產(chǎn)物甲基三氯硅烷為原料，具有明顯經(jīng)濟效益、環(huán)境效益。
　　甲基三乙氧基硅烷主要用作RTV單組份硅橡膠交聯(lián)劑，也可用作有機合成原料，用來生產(chǎn)硅油、硅樹脂等有機硅聚合物，以及甲基二苯基乙氧基硅烷、二乙氧基甲基苯基硅烷等有機硅化合物，還可以用來制備防水劑、織物整理劑、材料表面處理劑、氧化催化劑等。
　　除此之外，甲基三乙氧基硅烷也可用來制備氣凝膠，但氣凝膠結構完整度低于以正硅酸甲酯（TMOS）、正硅酸乙酯（TEOS）為原料制得的產(chǎn)品。甲基三乙氧基硅烷可以與正硅酸乙酯共水解獲得改性溶膠，注入木材內(nèi)部進行復合，可得到陶瓷化木材，具有耐水性好、抗壓強度高、抗彎曲強度高等優(yōu)點。
　　甲基三乙氧基硅烷下游應用領域廣泛，涉及醫(yī)藥、電子、汽車、建筑等多個行業(yè)，新型產(chǎn)品以及應用領域還在不斷開發(fā)，擁有良好發(fā)展前景。
　在海外市場中，甲基三乙氧基硅烷生產(chǎn)商主要有美國陶氏杜邦（Dow DuPont）、美國Gelest、德國瓦克化學（Wacker Chemie AG）、德國贏創(chuàng)（Evonik）、日本信越（Shin-Etsu）等；在我國市場中，甲基三乙氧基硅烷生產(chǎn)商主要有張家港新亞化工有限公司、杭州硅寶化工有限公司、江蘇揚子江天悅新材料有限公司等。