MEMS傳感器是基于微機(jī)電系統(tǒng)的典型傳感器件。它是指可以批量制造的，集微結(jié)構(gòu)、微傳感器、微執(zhí)行器以及信號(hào)處理和控制電路于一體的器件或系統(tǒng)。其特征尺寸一般在0.1m～100m范圍。MEMS集成了當(dāng)今科學(xué)技術(shù)的許多尖端成果，它將感知信息處理與執(zhí)行機(jī)構(gòu)相結(jié)合，改變了人類(lèi)感知和控制外部世界的方式。與傳統(tǒng)的機(jī)械傳感器相比，MEMS傳感器具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實(shí)現(xiàn)智能化等特點(diǎn)。在微米量級(jí)的特征尺寸MEMS傳感器可以完成某些傳統(tǒng)機(jī)械傳感器所不能實(shí)現(xiàn)的功能。因此，MEMS傳感器正逐步取代傳統(tǒng)機(jī)械傳感器的主導(dǎo)地位，在消費(fèi)電子產(chǎn)品、汽車(chē)工業(yè)、航空航天、機(jī)械、化工及醫(yī)藥等領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。MEMS傳感器種類(lèi)很多，也有多種分類(lèi)方法。按其工作原理，大致可分為MEMS物理、化學(xué)和生物傳感器，其中每一種MEMS傳感器又可分為很多種小類(lèi)，不同的MEMS傳感器可以測(cè)量不同的量，實(shí)現(xiàn)不同的功能。
中國(guó)MENS傳感器市場(chǎng)的起步和發(fā)展與中國(guó)3C產(chǎn)品（包括計(jì)算機(jī)、通信和消費(fèi)類(lèi)電子產(chǎn)品）及汽車(chē)電子產(chǎn)品保持快速增長(zhǎng)、全球電子整機(jī)產(chǎn)業(yè)向中國(guó)轉(zhuǎn)移密切相關(guān)。近年來(lái)，隨著消費(fèi)電子、汽車(chē)電子產(chǎn)品等下游行業(yè)的快速發(fā)展，我國(guó)MEMS傳感器市場(chǎng)需求旺盛，歷年持續(xù)保持快速增長(zhǎng)。數(shù)據(jù)顯示，2023年中國(guó)MEMS傳感器行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模約為1137.3億元。其中，消費(fèi)電子市場(chǎng)規(guī)模為599.1億元；汽車(chē)電子市場(chǎng)規(guī)模為275.3億元；工業(yè)電子市場(chǎng)規(guī)模為108.7億元；生物醫(yī)療市場(chǎng)規(guī)模為94億元。
MEMS傳感器行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈上游為原材料及芯片設(shè)計(jì)等環(huán)節(jié)，其中原材料主要包括半導(dǎo)體材料、陶瓷材料、金屬材料和有機(jī)材料四大類(lèi)；中游為MEMS傳感器的生產(chǎn)制造環(huán)節(jié)，一般由芯片設(shè)計(jì)企業(yè)完成設(shè)計(jì)后交由第三方晶圓廠制造。此外，MEMS傳感器行業(yè)還存在博世、意法半導(dǎo)體等大型IDM廠商。MEMS傳感器下游廣泛應(yīng)用于消費(fèi)電子、汽車(chē)電子、工業(yè)與通信、醫(yī)療、國(guó)防與航空、物聯(lián)網(wǎng)/智能家居等領(lǐng)域。
中國(guó)MEMS傳感器行業(yè)廠商主要分布在我國(guó)的東部沿海地區(qū)，包括河北、山東、江蘇、上海、浙江、福建、廣東等省市，其中，江蘇省MEMS傳感器企業(yè)包括華潤(rùn)微、敏芯股份、納芯微等。