超聲波衍射時(shí)差法，英文簡稱TOFD，是基于工件內(nèi)部結(jié)構(gòu)的衍射能量來檢測(cè)缺陷的技術(shù)，是工業(yè)無損檢測(cè)技術(shù)的一種。
　　超聲波在介質(zhì)中傳輸時(shí)，遇到裂紋、孔洞會(huì)發(fā)生衍射現(xiàn)象。TOFD技術(shù)利用探頭發(fā)射超聲波，再通過探頭接收缺陷尖端的衍射信號(hào)，根據(jù)衍射信號(hào)到達(dá)的時(shí)間差距來確定缺陷的位置及大小。
　　20世紀(jì)70年代，TOFD技術(shù)被提出，由于TOFD探頭需要具備優(yōu)良的微弱衍射波接收能力，以滿足檢測(cè)精度要求，直到20世紀(jì)90年代，TOFD檢測(cè)儀器才被開發(fā)問世。我國于20世紀(jì)70年代檢測(cè)出裂紋尖端衍射信號(hào)，90年代時(shí)，TOFD檢測(cè)儀器需求依靠進(jìn)口，進(jìn)入21世紀(jì)，我國研發(fā)出國產(chǎn)首臺(tái)TOFD檢測(cè)儀器。
　　TOFD檢測(cè)儀器通常采用兩個(gè)探頭，一個(gè)發(fā)射超聲波，另一個(gè)接收超聲波，而不是像傳統(tǒng)的超聲波檢測(cè)技術(shù)一樣利用一個(gè)探頭同時(shí)發(fā)射和接收超聲波，這是由于衍射波能量低，單探頭難以滿足高靈敏度接收信號(hào)的要求。TOFD探頭通常采用短脈沖、寬頻帶的壓電晶片作為發(fā)射與接收單元，以提高超聲波發(fā)射效率與接收靈敏度。
　　TOFD具有掃描覆蓋范圍大、檢測(cè)靈敏度高、檢測(cè)速度高、缺陷檢出率高、檢測(cè)精度高、檢測(cè)效率高、可靠性好、數(shù)據(jù)可存儲(chǔ)等優(yōu)點(diǎn)。TOFD可以與傳統(tǒng)的脈沖回波檢測(cè)技術(shù)配合使用，能夠進(jìn)一步提高檢測(cè)精度。
　　TOFD可以用于金屬、合金以及陶瓷、復(fù)合材料等材質(zhì)檢測(cè)方面，可檢測(cè)管道、容器、零部件等產(chǎn)品的裂紋、孔洞、開口缺陷、中間缺陷、未焊透焊縫、內(nèi)凹、未熔合坡口等，能夠?qū)崿F(xiàn)半自動(dòng)或者全自動(dòng)掃描檢測(cè)，特別是在焊接檢測(cè)領(lǐng)域應(yīng)用價(jià)值大，被廣泛應(yīng)用在石油、化工、汽車、電力、航空航天等行業(yè)。
　　在海外市場(chǎng)中，TOFD檢測(cè)儀器生產(chǎn)商主要有以色列Sonotron NDT、日本奧林巴斯OLYMPUS等；在我國市場(chǎng)中，TOFD檢測(cè)儀器生產(chǎn)企業(yè)主要有武漢中科創(chuàng)新技術(shù)股份有限公司、北京北極星辰科技有限公司、南通友聯(lián)數(shù)碼技術(shù)開發(fā)有限公司等，其中，中科創(chuàng)新是我國首臺(tái)國產(chǎn)TOFD檢測(cè)儀器研發(fā)生產(chǎn)商。
　　在信息產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展、制造業(yè)技術(shù)不斷升級(jí)背景下，超聲波無損檢測(cè)技術(shù)向著數(shù)字化、高精度化方向邁進(jìn)，超聲波衍射時(shí)差法（TOFD）、相控陣超聲檢測(cè)（PAUT）等新型技術(shù)逐漸對(duì)傳統(tǒng)超聲波無損檢測(cè)技術(shù)形成替代。受益于此，TOFD檢測(cè)儀器行業(yè)發(fā)展前景廣闊。