納米壓印機（NIL），指用于制造納米級特征圖案的技術(shù)設(shè)備。納米壓印機通常以納米壓印為技術(shù)載體，具備綠色環(huán)保、工作效率高、分辨率高、生產(chǎn)成本低等優(yōu)勢，可用于制造數(shù)據(jù)存儲器件、微流控裝置、生物傳感器、光子晶體、集成電路、AR/VR衍射光波導(dǎo)以及柔性電子器件等。
   納米壓印技術(shù)為納米壓印機核心技術(shù)。納米壓印技術(shù)是一種新型微納加工技術(shù)，指采用物理壓印方式，將圖案模具壓入軟性材料中，最后經(jīng)過固化、移除模具等流程獲得納米級特征圖案。我國納米壓印技術(shù)研究起步較早，目前已在眾多領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)商業(yè)化應(yīng)用。未來伴隨納米壓印技術(shù)不斷進(jìn)步，我國納米壓印機行業(yè)發(fā)展速度將進(jìn)一步加快。
   納米壓印機主要分為紫外光固化納米壓印機（UV-NIL）、微接觸印刷機以及熱納米壓印機三種類型。紫外光固化納米壓印機通常由UV紫外曝光模組、LED固化燈、STU模組、IPS模組以及主機等組件構(gòu)成，為熱納米壓印機衍生產(chǎn)品，主要利用紫外線固化聚合物，進(jìn)而得到納米級結(jié)構(gòu)，具備固化速度快、無污染、操作流程簡單等優(yōu)勢，未來有望成為納米壓印機代表產(chǎn)品。
   納米壓印機作為一種先進(jìn)技術(shù)設(shè)備，在眾多領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。在集成電路制造過程中，納米壓印機作為EUV光刻機替代產(chǎn)品，能夠?qū)⒓{米結(jié)構(gòu)固定于硅片上，可用于制造復(fù)雜集成電路。近年來，受益于國家政策支持以及本土企業(yè)持續(xù)發(fā)力，我國集成電路產(chǎn)量不斷增長。據(jù)國家工信部統(tǒng)計數(shù)據(jù)顯示，2023年我國集成電路產(chǎn)量達(dá)到3514億塊，同比增長6.9%。未來隨著應(yīng)用需求日益旺盛，我國納米壓印機行業(yè)發(fā)展態(tài)勢將持續(xù)向好。
   在市場競爭方面，受技術(shù)壁壘高等因素限制，外資企業(yè)長期占據(jù)我國納米壓印機市場主導(dǎo)地位，主要包括丹麥NILT、德國SUSS MicroTec、日本佳能以及奧地利EV Group等。日本佳能為全球較早具備納米壓印機批量生產(chǎn)能力的企業(yè)，產(chǎn)品已銷往全球多個國家和地區(qū)。
   近年來，我國已有多家企業(yè)布局納米壓印機行業(yè)研發(fā)及生產(chǎn)賽道，包括光舵微納、利和興、騰景科技、中電科、兆馳股份、璞璘科技等。未來隨著行業(yè)景氣度提升，我國納米壓印機生產(chǎn)企業(yè)數(shù)量將進(jìn)一步增長，屆時其市場競爭將日益激烈。