斐索（Fizeau）干涉儀，基于等厚干涉原理制造而成，屬于單路徑干涉儀，以發(fā)明者的名字命名，于19世紀(jì)50年代由法國(guó)科學(xué)家斐索（Fizeau）發(fā)明。斐索干涉儀首次實(shí)現(xiàn)了實(shí)驗(yàn)室精確光速測(cè)量，被廣泛應(yīng)用于光學(xué)元件面形檢測(cè)領(lǐng)域。由于Fizeau也被譯作菲索，斐索干涉儀也稱(chēng)為菲索干涉儀。
　　斐索干涉儀的工作原理是，光源發(fā)出的光經(jīng)會(huì)聚準(zhǔn)直后成為平行光，照射樣品以及參考平板，光線(xiàn)在樣品表面、參考平板表面反射，形成兩束反射光，匯合后由于相位差會(huì)產(chǎn)生干涉條紋，通過(guò)檢測(cè)器觀察干涉條紋的變化，可以檢驗(yàn)光學(xué)元件的表面質(zhì)量，測(cè)量光的波長(zhǎng)、速度等物理量。
　　斐索干涉儀是一種常見(jiàn)的光學(xué)儀器，在光學(xué)表面質(zhì)量高精度測(cè)量方面應(yīng)用廣泛，可以對(duì)平面、凹面、凸面、球面光學(xué)元件進(jìn)行測(cè)量，檢測(cè)光學(xué)元件的面形、光學(xué)鏡頭的波像差、光學(xué)材料的均勻性，廣泛應(yīng)用于物理學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)、精密機(jī)械等領(lǐng)域，其中在生物學(xué)領(lǐng)域，可以研究細(xì)胞動(dòng)態(tài)、分子結(jié)構(gòu)。
　　斐索干涉儀屬于單路徑干涉儀，與多路徑干涉儀例如邁克爾遜干涉儀（Michelson）相比，由于兩束光沿同一光路行進(jìn)，避免了兩束光有兩條光路易受外界干擾、導(dǎo)致干涉條紋不穩(wěn)定的缺點(diǎn)，測(cè)量精度更高。特外曼-格林（Twyman-Green）干涉儀是在邁克爾遜干涉儀的基礎(chǔ)上改進(jìn)得到，測(cè)量精度提高。斐索干涉儀與特外曼-格林干涉儀是常用的檢驗(yàn)光學(xué)元件表面質(zhì)量的兩種干涉儀。
　　預(yù)計(jì)2023-2029年，全球干涉儀市場(chǎng)將以4.5%的年復(fù)合增長(zhǎng)率增長(zhǎng)，到2029年市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到57.2億元，斐索干涉儀作為常見(jiàn)的干涉儀產(chǎn)品，市場(chǎng)前景良好。受益于科技不斷進(jìn)步、光學(xué)表面測(cè)量需求日益增加、應(yīng)用領(lǐng)域不斷拓寬，斐索干涉儀市場(chǎng)需求不斷增長(zhǎng)、新型產(chǎn)品不斷涌現(xiàn)。在全球范圍內(nèi)，領(lǐng)先的斐索干涉儀生產(chǎn)商主要是美國(guó)Zygo公司，其研制的GPI系列激光干涉儀，基于斐索干涉儀原理開(kāi)發(fā)得到，性能突出。
   除美國(guó)Zygo外，全球代表性斐索干涉儀生產(chǎn)商還有美國(guó)Mahr-ESDI、美國(guó)Bristol Instruments、德國(guó)HighFinesse、英國(guó)雷尼紹（Renishaw）、美國(guó)是德科技（Keysight Technologies）、德國(guó)OptoTech、日本Tosei Engineering Corp、瑞士Haag-Streit、美國(guó)API（Automated Precision）、德國(guó)Status Pro、德國(guó)JENAer、法國(guó)Kylia、德國(guó)TRIOPTICS、美國(guó)4D Technology等。