MEMS壓力傳感器指利用微電子和微機械加工技術制造的微型壓力測量裝置。MEMS壓力傳感器能夠將物理壓力轉換為電信號，在汽車制造、人形機器人、醫(yī)療設備以及消費電子等領域應用廣泛。
MEMS壓力傳感器種類豐富，主要包括電容式壓力傳感器、壓阻式壓力傳感器、光纖壓力傳感器、諧振壓力傳感器、壓電式壓力傳感器等。不同類型MEMS壓力傳感器，其性能及應用場景也有所不同。諧振壓力傳感器利用諧振元件感知壓力變化，具有抗電磁干擾能力強、穩(wěn)定性好、精度高等優(yōu)勢，在工業(yè)自動化、航空航天、科學研究等眾多領域應用廣泛。未來伴隨細分產(chǎn)品應用需求增長，我國MEMS壓力傳感器行業(yè)景氣度將有所提升。
MEMS壓力傳感器主要應用于汽車制造、人形機器人、醫(yī)療設備以及消費電子領域。在汽車制造領域，MEMS壓力傳感器可用于汽車發(fā)動機控制系統(tǒng)中，能對汽車氣缸負壓、油壓以及吸氣壓等進行監(jiān)測；在人形機器人領域，其具有小型化、靈敏度高等優(yōu)勢，可用于控制機器人手指；在醫(yī)療設備領域，其可用于血壓計、宮腔內(nèi)壓力監(jiān)測儀以及呼吸機中。
近年來，伴隨研究深入、技術進步，MEMS壓力傳感器應用范圍不斷擴展，其市場規(guī)模也得到進一步增長。2023年全球MEMS壓力傳感器市場規(guī)模達到近25億美元。預計未來一段時間，隨著技術進步，MEMS壓力傳感器的生產(chǎn)成本將進一步降低，高質量產(chǎn)品市場占比將有所提升。到2029年，全球MEMS壓力傳感器市場規(guī)模有望突破35億美元。
全球MEMS壓力傳感器主要生產(chǎn)商包括德國博世、瑞士意法半導體、日本村田制作所、美國安費諾、美國森薩塔科技等。在本土方面，我國MEMS壓力傳感器市場參與者包括敏芯股份、康斯特、安培龍以及華培動力等。敏芯股份生產(chǎn)的MEMS壓力傳感器已在汽車以及醫(yī)療設備中獲得應用，據(jù)其企業(yè)年報顯示，2023年公司MEMS壓力傳感器庫存量達到1105萬顆。
MEMS壓力傳感器綜合性能優(yōu)良，在眾多領域應用廣泛。未來伴隨下游行業(yè)發(fā)展速度加快，我國MEMS壓力傳感器市場空間將不斷擴展。目前，全球MEMS壓力傳感器市場主要集中于歐美以及日本等國。未來伴隨技術進步，我國MEMS壓力傳感器市場國產(chǎn)化進程有望加快。