大束流離子注入機，指可以處理大電流離子束的離子注入機。大束流離子注入機具備高效傳輸、污染控制、劑量均勻性精確控制等功能，在晶圓制造領(lǐng)域擁有廣闊應(yīng)用前景。
離子注入機主要包括大束流離子注入機、高能離子注入機以及中束流離子注入機等類型。與高能離子注入機相比，大束流離子注入機具備技術(shù)成熟度高、生產(chǎn)成本低等優(yōu)勢。與中束流離子注入機相比，大束流離子注入機具備工作效率高、能量控制精度高、適應(yīng)性好等優(yōu)勢。經(jīng)過多年發(fā)展，大束流離子注入機技術(shù)成熟度不斷提升，已逐漸成為離子注入機市場主流產(chǎn)品。未來隨著離子注入機行業(yè)發(fā)展態(tài)勢持續(xù)向好，我國大束流離子注入機將迎來廣闊市場前景。
大束流離子注入機是一種半導(dǎo)體制造設(shè)備，可用于大尺寸晶圓摻雜工藝、超淺結(jié)注入工藝以及表面改性工藝中。近年來，隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向我國大陸轉(zhuǎn)移，我國大尺寸晶圓產(chǎn)能不斷擴張。2023年我國12英寸晶圓月均產(chǎn)能達(dá)到近380萬片。受益于技術(shù)進(jìn)步以及下游行業(yè)發(fā)展速度加快，我國大束流離子注入機市場空間不斷擴展。2023年我國大束流離子注入機市場規(guī)模達(dá)到近45億元，創(chuàng)造歷史新高。
在行業(yè)發(fā)展初期，受技術(shù)壁壘高、生產(chǎn)成本高等因素限制，我國大束流離子注入機高度依賴進(jìn)口，美國和日本為我國主要進(jìn)口國。近年來，在國家政策支持以及技術(shù)進(jìn)步等積極因素推動下，我國大束流離子注入機市場國產(chǎn)化進(jìn)程不斷加快。上海萬業(yè)企業(yè)股份有限公司和中國電子科技集團有限公司為我國大束流離子注入機代表企業(yè)。2020年，萬業(yè)企業(yè)旗下凱世通自主研發(fā)出我國首臺低能大束流離子注入機，目前公司已成功獲得多家大尺寸晶圓廠采購訂單。中電科自主研發(fā)并生產(chǎn)的大束流離子注入機，已成功入選由國務(wù)院國有資產(chǎn)監(jiān)督管理委員會發(fā)布的《 中央企業(yè)科技創(chuàng)新成果產(chǎn)品手冊（2022年版）》。
隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向我國大陸轉(zhuǎn)移，我國大束流離子注入機應(yīng)用需求不斷增長，行業(yè)發(fā)展速度有所加快。在行業(yè)發(fā)展初期，海外企業(yè)長期占據(jù)我國大束流離子注入機市場主導(dǎo)地位。未來伴隨本土企業(yè)持續(xù)發(fā)力，我國國產(chǎn)大束流離子注入機市場占比有望提升。