半導(dǎo)體磁流體密封裝置又稱液體O型密封圈，是指用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備中的磁流體密封裝置。
　　半導(dǎo)體工藝設(shè)備包括單晶硅爐、液晶再生設(shè)備、化學(xué)氣相沉積設(shè)備、刻蝕設(shè)備、鍍膜設(shè)備等。半導(dǎo)體工藝設(shè)備的工藝腔室中常設(shè)置有傳動(dòng)部件，為避免雜質(zhì)和氣體影響，半導(dǎo)體制造需要嚴(yán)格的密封環(huán)境，為確保旋轉(zhuǎn)部件與腔室本體之間的密封性，需采用密封裝置來(lái)實(shí)現(xiàn)密封作用。
　　磁流體密封裝置具有長(zhǎng)壽命、無(wú)磨損、零泄漏、無(wú)污染、可靠性優(yōu)良等優(yōu)勢(shì)，能夠滿足半導(dǎo)體制造中高精度、高純度、高密封性的要求。磁流體密封裝置是半導(dǎo)體設(shè)備常用密封裝置，此外磁流體密封裝置在航天航空、真空技術(shù)、石油化工、醫(yī)療設(shè)備、新能源、深空探測(cè)等領(lǐng)域也有廣泛應(yīng)用。
　　磁流體密封裝置通常由磁流體、永久磁鐵、軸承、磁極片、可導(dǎo)軸或軸套、不導(dǎo)底座等組成。磁流體是磁流體密封裝置的核心之一，由納米級(jí)磁性顆粒、基載液和界面活性劑組成。磁流體具有磁場(chǎng)下迅速響應(yīng)的特點(diǎn)，其形狀、流動(dòng)特性隨著磁場(chǎng)強(qiáng)度、方向改變而改變。
　　半導(dǎo)體磁流體密封裝置行業(yè)技術(shù)壁壘較高，長(zhǎng)期以來(lái)，市場(chǎng)一直由日美企業(yè)壟斷，尤其是日本企業(yè)，包括日本Ferrotec、日本NOK、日本Rigaku等公司。我國(guó)半導(dǎo)體磁流體密封裝置國(guó)產(chǎn)化起步晚，目前國(guó)產(chǎn)化率尚低，浙江微磁半導(dǎo)體科技有限公司（浙江微磁）是推動(dòng)其國(guó)產(chǎn)替代的主要企業(yè)。
　　浙江微磁專(zhuān)業(yè)從事磁流體、磁流體真空密封件等產(chǎn)品的研究、開(kāi)發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售，2024年7月，其“磁流體密封模組生產(chǎn)基地項(xiàng)目”開(kāi)工，該項(xiàng)目總投資10.5億元，將打造出磁性流體功能材料和磁流體密封模組研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售于一體的產(chǎn)業(yè)基地和磁流變液減震模組生產(chǎn)基地；同年9月，浙江微磁成功完成數(shù)千萬(wàn)天使輪融資，融資將用于義烏產(chǎn)業(yè)基地?cái)U(kuò)產(chǎn)建設(shè)及磁性流體功能材料、磁流體密封模組的研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售。
　　近年來(lái)，我國(guó)取得了多項(xiàng)半導(dǎo)體磁流體密封裝置相關(guān)專(zhuān)利，如北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司的《磁流體密封裝置和半導(dǎo)體工藝設(shè)備》、杭州維科磁電技術(shù)有限公司的《一種硅單晶爐磁流體密封裝置》、無(wú)錫翔域半導(dǎo)體有限公司的《一種用于離子注入機(jī)的磁流體密封機(jī)構(gòu)》等，這為半導(dǎo)體磁流體密封裝置國(guó)產(chǎn)化發(fā)展提供了技術(shù)支撐。此外隨著浙江微磁義烏產(chǎn)業(yè)基地?cái)U(kuò)產(chǎn)建設(shè)，我國(guó)半導(dǎo)體磁流體密封裝置國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程將持續(xù)推進(jìn)。