晶圓級磁光克爾測量儀是一種利用磁光克爾效應（MOKE）來檢測晶圓膜堆磁性的高精度檢測設(shè)備。磁光克爾效應是一種光從磁化材料表面反射時發(fā)生偏振態(tài)變化的物理現(xiàn)象，其是表征和研究磁性材料的重要方法。
　　晶圓級磁光克爾測量儀分為晶圓級垂直磁光克爾測量儀、晶圓級面內(nèi)磁光克爾測量儀。晶圓級磁光克爾測量儀屬于非接觸式測量設(shè)備，具有無晶圓破壞、超高克爾檢出靈敏度、重復定位精度高等特點，可用于磁性芯片的磁性薄膜檢測，以及磁性存儲器、磁傳感器膜堆的磁滯回線測量中。
　　磁性芯片又稱自旋電子芯片，是芯片的一種，其可用作信息存儲模塊、磁信號傳感模塊等，廣泛應用在汽車自動駕駛、電子電器、衛(wèi)星控制系統(tǒng)、飛行器等領(lǐng)域。在磁性芯片生產(chǎn)中，需將納米磁性薄膜均勻鋪在晶圓上，這一環(huán)節(jié)，磁性薄膜平整度檢測至關(guān)重要。晶圓級磁光克爾測量儀為磁性芯片高質(zhì)量生產(chǎn)提供了設(shè)備支撐，未來市場發(fā)展空間廣闊。
　　長期以來，晶圓級檢測設(shè)備市場一直由國外企業(yè)壟斷，尤其是美國科磊半導體，受制于此，我國高端磁性芯片市場嚴重依賴進口。近年來，在國產(chǎn)替代背景下，我國企業(yè)開始進軍晶圓級檢測設(shè)備市場，在晶圓級磁光克爾測量儀市場上，布局單位包括北京航空航天大學、真精密儀器（青島）有限公司等。
　　真精密儀器由北京航空航天大學孵化，其于2022年推出了國內(nèi)首臺產(chǎn)業(yè)級晶圓磁光克爾測量儀，其檢測速度和精度均優(yōu)于國際水平，打破了美國企業(yè)在該領(lǐng)域的壟斷。此外致真精密儀器還研制了磁光克爾顯微鏡、磁滯回線測量儀、晶圓級磁場探針臺、晶圓級磁性測量儀、超高真空高精度磁控濺射儀等多款高科技產(chǎn)品，相關(guān)產(chǎn)品已在清華大學、中國科學院物理所等多家科研單位裝機使用。
    晶圓級磁光克爾測量儀可用于磁性芯片的磁性薄膜檢測中，目前全球磁性芯片市場空間在28億美元/元左右，三星、英特爾、格羅方德、昆泰芯微電子、矽�？萍肌㈨樈j(luò)電子等國內(nèi)外企業(yè)在該領(lǐng)域均有布局，隨著磁性芯片生產(chǎn)規(guī)模擴大，晶圓級磁光克爾測量儀市場發(fā)展空間將擴寬。