碳化硅聚焦環(huán)，又稱SiC基聚焦環(huán)，指由碳化硅為主要原材料制成的環(huán)狀部件。碳化硅聚焦環(huán)具備減少邊緣效應(yīng)、約束等離子體、耦合射頻功率以及熱管理等功能，在光電器件、微機(jī)電系統(tǒng)以及集成電路領(lǐng)域擁有廣闊應(yīng)用前景。
 碳化硅為碳化硅聚焦環(huán)主要原材料，占據(jù)其較大生產(chǎn)成本。碳化硅是一種高性能非金屬材料，具備耐高壓、耐高溫、耐高頻等特性，在電子電氣、磨料磨具、化工設(shè)備以及耐火材料等領(lǐng)域應(yīng)用較多。受益于技術(shù)進(jìn)步以及應(yīng)用需求增長，我國碳化硅產(chǎn)量不斷提升，2023年突破10萬噸。未來隨著高質(zhì)量碳化硅市場占比提升，我國碳化硅聚焦環(huán)行業(yè)發(fā)展態(tài)勢將持續(xù)向好。
碳化硅聚焦環(huán)主要應(yīng)用于薄膜沉積設(shè)備中，在光電器件、微機(jī)電系統(tǒng)以及集成電路等眾多領(lǐng)域擁有廣闊應(yīng)用前景。伴隨國家政策支持以及本土企業(yè)持續(xù)發(fā)力，我國集成電路產(chǎn)量不斷增長。據(jù)國家工信部統(tǒng)計數(shù)據(jù)顯示，2023年我國集成電路產(chǎn)量達(dá)到3514億塊，同比增長6.9%。碳化硅聚焦環(huán)為等離子體刻蝕設(shè)備核心組件，在集成電路刻蝕工藝中應(yīng)用較多。未來伴隨市場需求逐漸釋放，我國碳化硅聚焦環(huán)行業(yè)發(fā)展空間將進(jìn)一步擴(kuò)展。
全球碳化硅聚焦環(huán)主要生產(chǎn)商包括韓國東海碳素株式會社（TCK）、韓國KNJ公司、美國PremaTech Advanced Ceramics公司、日本精密陶瓷株式會社（JFC）等。東海碳素為全球較早布局碳化硅聚焦環(huán)行業(yè)研發(fā)及生產(chǎn)賽道的企業(yè)，其推出的固體碳化硅聚焦環(huán)已在半導(dǎo)體設(shè)備中獲得廣泛應(yīng)用。
我國碳化硅聚焦環(huán)市場主要參與者包括凱樂士、珂瑪材料、德智新材、志橙半導(dǎo)體、吉盛微等。吉盛微專注于碳化硅半導(dǎo)體設(shè)備零部件和耗材的研發(fā)、生產(chǎn)制造，主營產(chǎn)品包括簇射極板、晶圓舟、碳化硅材料以及碳化硅聚焦環(huán)等。目前，吉盛微已與多家知名半導(dǎo)體器件制造商達(dá)成合作，為其批量供應(yīng)碳化硅聚焦環(huán)。
受益于我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展速度加快，碳化硅聚焦環(huán)作為半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備重要組件，市場需求日益旺盛。與海外發(fā)達(dá)國家相比，我國碳化硅聚焦環(huán)行業(yè)起步較晚，但發(fā)展勢頭迅猛，已有多家企業(yè)具備其批量生產(chǎn)實(shí)力。未來隨著本土企業(yè)持續(xù)發(fā)力，我國碳化硅聚焦環(huán)市場規(guī)模將進(jìn)一步增長。