綠光激光二極管（綠光LD）是綠光激光器的光源，將電能轉(zhuǎn)換為光能，產(chǎn)生綠光激光，外延材料是其制備所需的核心材料。
　　綠光激光可以應(yīng)用在醫(yī)療、顯示、存儲、通信、儀器、精密加工、軍事等領(lǐng)域，也可用作激光泵浦源。綠光激光在醫(yī)療領(lǐng)域，可用于眼科手術(shù)、血管性疾病治療等方面；在顯示領(lǐng)域，具有色域?qū)�、色純度高、色彩鮮艷真實(shí)等優(yōu)點(diǎn)；在精密加工領(lǐng)域，具有亮度高、聚焦光斑小、加工速度快等優(yōu)點(diǎn)；用作激光泵浦源，可產(chǎn)生紫外、深紫外激光。
　　綠光激光器是發(fā)射綠光激光的裝置，綠光激光二極管（綠光LD）是其基礎(chǔ)核心元件。綠光激光二極管制備難度大，主要受襯底材料、外延結(jié)構(gòu)等因素影響。綠光激光二極管需要采用低缺陷密度材料作為襯底，例如氮化鎵（GaN）、氮化鋁鎵（AlGaN）等，其中氮化鎵較為常見，設(shè)計(jì)好外延結(jié)構(gòu)之后，在氮化鎵單晶襯底之上生長外延層，獲得高質(zhì)量外延片。
　　我國綠光激光二極管及外延材料相關(guān)研究成果不斷增多。2019年4月，中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所獲得一項(xiàng)名為“一種綠光激光器外延片及其制備方法”的專利授權(quán)，以藍(lán)寶石為襯底，以氮化鎵、氮化鋁鎵等為外延材料；2021年，中國科學(xué)院蘇州納米所團(tuán)隊(duì)在《Science China Materials》上發(fā)表了關(guān)于GaN基綠光激光二極管（LD）的研究進(jìn)展；2024年10月，安徽格恩半導(dǎo)體有限公司公開一項(xiàng)名為“氮化鎵基半導(dǎo)體綠光激光芯片及外延結(jié)構(gòu)的生長方法”的發(fā)明專利。
　　憑借高飽和電子漂移速率、高擊穿場強(qiáng)、高熱導(dǎo)率等優(yōu)點(diǎn)，氮化鎵成為綠光激光二極管的常見外延材料。氮化鎵基綠光激光二極管具有優(yōu)秀的光學(xué)特性、能量轉(zhuǎn)換效率與穩(wěn)定性。外延材料性能優(yōu)化與外延結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)直接影響綠光激光二極管光電性能，為進(jìn)一步提高綠光激光器品質(zhì)，我國政策仍在大力推動綠光激光二極管及外延材料技術(shù)發(fā)展。
　　2024年8月，我國工信部發(fā)布國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃“高性能制造技術(shù)與重大裝備”2024年度項(xiàng)目申報(bào)指南，在“新型顯示與戰(zhàn)略性電子材料”重點(diǎn)專項(xiàng)2024年度項(xiàng)目申報(bào)指南中，將高性能綠光激光外延材料、器件及應(yīng)用研究列入，提出研究綠光激光二極管（LD）外延材料缺陷抑制、組分調(diào)控和器件結(jié)構(gòu)等核心技術(shù)，研制出高功率綠光LD器件。