三甲基硅烷（3MS），化學(xué)式為C3H10Si，是一種有機(jī)硅化合物。三甲基硅烷外觀呈無(wú)色透明液體或無(wú)色氣體，含刺鼻氣味，可溶于二氯甲烷以及正庚烷等非極性溶劑，幾乎不溶于水。三甲基硅烷具備強(qiáng)堿性、易燃性、易揮發(fā)性以及極高反應(yīng)活性，在新能源、半導(dǎo)體工業(yè)、有機(jī)合成等領(lǐng)域有所應(yīng)用。
   三甲基硅烷主要制備方法包括格氏試劑法、氫化鋁鋰還原法、縮合反應(yīng)法等�？s合反應(yīng)法具備反應(yīng)條件溫和、成品質(zhì)量好、生產(chǎn)效率高等優(yōu)勢(shì)，為三甲基硅烷主流制備方法。近年來(lái)，隨著本土企業(yè)及相關(guān)科研機(jī)構(gòu)持續(xù)發(fā)力，環(huán)保型工藝逐漸在三甲基硅烷制備過(guò)程中獲得應(yīng)用。未來(lái)伴隨技術(shù)進(jìn)步，我國(guó)三甲基硅烷產(chǎn)量及質(zhì)量將得到進(jìn)一步提升。
   三甲基硅烷適用范圍較廣，主要包括新能源、半導(dǎo)體工業(yè)、有機(jī)合成等。半導(dǎo)體領(lǐng)域?yàn)槿�甲基硅烷主要需求端，其作為硅源前�?qū)體材料，可用于半導(dǎo)體PECVD工藝中，能夠制備碳化硅硬涂層、氧化硅介電層以及氮化硅屏障層等。未來(lái)隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向我國(guó)大陸轉(zhuǎn)移，三甲基硅烷應(yīng)用需求將進(jìn)一步增長(zhǎng)。
   我國(guó)三甲基硅烷主要生產(chǎn)商包括上海正帆科技股份有限公司、浙江中寧硅業(yè)股份有限公司、湖北成豐化工有限公司、山東中天科技有限公司等。正帆科技主營(yíng)業(yè)務(wù)包括向泛半導(dǎo)體、生物制藥等，目前正在積極推進(jìn)年產(chǎn)890噸電子先進(jìn)材料及30萬(wàn)立方電子級(jí)混合氣體項(xiàng)目建設(shè)，該項(xiàng)目擬生產(chǎn)的電子先進(jìn)材料包括三甲基硅烷、亞磷酸三乙酯、硼酸三乙酯以及六氯乙硅烷等。
   雖然三甲基硅烷應(yīng)用前景廣闊，但其行業(yè)發(fā)展仍面臨一定挑戰(zhàn)。一方面，三甲基硅烷主要應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域，對(duì)于純度要求較高，現(xiàn)有技術(shù)無(wú)法滿足超高純度產(chǎn)品生產(chǎn)需求；另一方面，三甲基硅烷存在易燃性及腐蝕性，在制備及存儲(chǔ)過(guò)程中極易造成環(huán)境污染。
   三甲基硅烷性能優(yōu)異，作為一種電子材料，在半導(dǎo)體領(lǐng)域擁有廣闊應(yīng)用前景。未來(lái)伴隨市場(chǎng)需求逐漸釋放，我國(guó)三甲基硅烷行業(yè)發(fā)展速度將進(jìn)一步加快。目前，我國(guó)三甲基硅烷行業(yè)發(fā)展仍面臨一定挑戰(zhàn)，未來(lái)伴隨本土企業(yè)持續(xù)發(fā)力以及技術(shù)進(jìn)步，高質(zhì)量及綠色化將成為其行業(yè)發(fā)展主流趨勢(shì)。