電子特氣作為特種氣體的一種，在電子產品制程中廣泛應用于刻蝕、清洗、氣相沉積、摻雜等工藝，被稱為集成電路、液晶面板、LED及光伏等半導體材料的“糧食”和“源”。

一、電子特氣的定義及分類

電子特氣是指當氣體中的電子濃度非常高時，電子的自由程比氣體分子的自由程要短，導致氣體分子與電子之間的相互作用顯著增強，進而使氣體分子電離并形成的一種高度電離的等離子體。電子特氣具有高純度、穩(wěn)定性、多樣性的特點，在電子工業(yè)中具有廣泛的應用。

電子特氣的類型繁多，每種類型都有其特定的用途和化學成分。

二、電子特氣行業(yè)發(fā)展政策

電子特氣作為關鍵性電子材料，近年來得到了國家產業(yè)政策的大力支持。國家發(fā)改委、科技部、工信部等部門相繼出臺了《產業(yè)結構調整指導目錄》《原材料工業(yè)“三品”實施方案》《“十四五”原材料工業(yè)發(fā)展規(guī)劃》《精細化工產業(yè)創(chuàng)新發(fā)展實施方案（2024—2027年）》等一系列產業(yè)支持政策，為電子特氣行業(yè)的發(fā)展提供了良好的政策環(huán)境。

三、電子特氣行業(yè)發(fā)展現狀

1、全球電子特氣市場規(guī)模

近年來，全球電子特氣市場規(guī)模持續(xù)增長。

2023年全球電子特氣市場規(guī)模56億美元， 2024年全球電子特氣市場規(guī)模將達60億美元。

2、中國電子特氣市場規(guī)模

中國電子特氣市場規(guī)模同樣呈現出穩(wěn)步增長的趨勢。2023年中國電子特氣市場規(guī)模249億元，隨著集成電路和顯示面板等半導體產業(yè)的快速發(fā)展，電子特氣的需求將持續(xù)增長，2024年中國電子特氣市場規(guī)模將達262.5億元。

3、電子特氣國產化率

國內企業(yè)所能批量生產的特種氣體仍主要集中在集成電路的清洗、蝕刻、光刻等工藝環(huán)節(jié)，對摻雜、沉積等工藝的特種氣體僅有少部分品種取得突破，自主供應能力不足。

我國電子特氣國產化率較低，2020年電子特氣國產化率僅14%，例如集成電路生產用的電子特氣，我國僅能生產約20%的品種，所占國內市場份額僅為12%。預計2025年我國電子特氣國產化率有望提升至25%。

4、電子特氣下游應用

電子特種氣體主要用于集成電路、顯示面板、LED、光伏等領域。其中，集成電路占比最多，達43%。其次分別為顯示面板、LED、光伏，占比分別為21%、13%、6%。

四、電子特氣行業(yè)重點企業(yè)

1、中船特氣

中船特氣是國內領先、世界知名的電子特種氣體供應商。中船特氣的電子特氣產品系列豐富，主要包括高純三氟化氮、高純六氟化鎢、高純氯化氫、高純氟化氫、高純四氟化硅、高純氘氣、高純六氟丁二烯、高純八氟環(huán)丁烷、高純電子混合氣等。拳頭產品三氟化氮年產能達9250噸、六氟化鎢年產能達2230噸，均居世界前列。

2023年中船特氣實現營業(yè)總收入16.16億元，同比下降17.39%。歸母凈利潤3.35億元，同比下降12.55%。

2023年中船特氣電子特種氣體營業(yè)收入14.86億元，占比91.94%。三氟甲磺酸系列營業(yè)收入1.00億元，占比6.19%。

2、華特氣體

華特氣體是一家以特種氣體為核心主營業(yè)務，輔以普通工業(yè)氣體、相關氣體設備與工程業(yè)務的工業(yè)氣體公司。華特氣體主營為光刻及其他混合氣體、氫化物、普通工業(yè)氣體、氟碳類、其他、焊接絕熱氣瓶及其附屬設備、氮氧化合物、碳氧化合物。華特氣體在電子特氣市場中占據重要地位，其電子特氣產品實現了對國內8寸以上集成電路制造廠商超過85%的客戶覆蓋率。

2023年華特氣體實現營業(yè)收入15億元，同比下降16.80%。歸母凈利潤為1.71億元，同比下降17.18%。

2023年華特氣體特種氣體營業(yè)收入10.23億元，占比68.16%。普通工業(yè)氣體營業(yè)收入2.27億元，占比15.13%。

3、南大光電

南大光電是國內領先的電子特氣生產商之一，專注于研發(fā)、生產和銷售高純度的電子特氣產品。南大光電的電子特氣產品種類豐富，主要包括氫類電子特氣和含氟電子特氣兩大類。

2023年南大光電實現營業(yè)收入約17.03億元，歸屬于上市公司股東的凈利潤約2.12億元，同比分別增長7.72%、13.26%。

2023年南大光電特氣產品營業(yè)收入12.31億元，占比72.3%。前驅體材料(含MO源)營業(yè)收入3.40億元，占比19.93%。

4、雅克科技

雅克科技的電子特氣業(yè)務主要通過其全資子公司成都科美特進行�？泼捞貙Ｗ⒂诤�氟類特種氣體的研發(fā)、生產、提純與銷售，主要產品包括六氟化硫和四氟化碳。雅克科技在電子特氣領域擁有較高的市場地位，其產品質量和技術水平得到了國內外客戶的廣泛認可。

2023年雅克科技實現營業(yè)收入47.38億元，同比增長11.24%；實現歸屬于上市公司股東的凈利潤5.80億元，同比增長10.43%。

2023年雅克科技電子特種氣體業(yè)務營業(yè)收入4.39億元，占比9.26%。光刻膠及配套試劑業(yè)務營業(yè)收入13.04億元，占比27.53%。

5、金宏氣體

金宏氣體是一家專業(yè)從事氣體研發(fā)、生產、銷售和服務的環(huán)保集約型綜合氣體供應商。金宏氣體的電子特氣產品種類豐富，主要包括超純氨、高純氧化亞氮（笑氣）、氫氣、二氧化碳、八氟環(huán)丁烷、高純二氧化碳以及正硅酸乙酯等。金宏氣體在國產特氣領域居龍頭地位，其電子特氣產品已正式供應了中芯國際、海力士、鎂光、聯芯集成、積塔等一批知名半導體客戶。

2023年金宏氣體實現營業(yè)總收入24.27億元，同比增長23.40%。歸母凈利潤3.15億元，同比增長37.48%。

2023年金宏氣體特種氣體營業(yè)收入10.90億元，占比44.90%。大宗氣體營業(yè)收入8.52億元，占比35.09%。

五、電子特氣行業(yè)發(fā)展前景

1、電子特氣市場需求大

電子特氣是半導體制造的關鍵原材料，主要應用于光刻、刻蝕、成膜、清洗、摻雜、沉積等工藝環(huán)節(jié)。隨著半導體產業(yè)的快速發(fā)展，尤其是集成電路和顯示面板等高科技產品對高品質、高純度電子特氣的需求日益增大，電子特氣市場需求呈現快速增長態(tài)勢。此外，隨著LED、光伏等產業(yè)的快速發(fā)展，這些領域對電子特氣的需求也在不斷增加。

2、國產化率提升

目前，我國電子特氣的國產化率整體仍然較低。由于國內電子特氣行業(yè)起步較晚，技術積累相對薄弱，同時面臨著國際巨頭的市場壟斷和技術封鎖，導致國內企業(yè)在電子特氣領域的市場份額較小。但近年來，隨著國內企業(yè)技術水平的提升和自主創(chuàng)新能力的增強，國產化率逐步提升。未來，國內企業(yè)將繼續(xù)加大技術研發(fā)和創(chuàng)新投入，提高產品質量和性能，進一步提升國產化率。

3、技術創(chuàng)新驅動行業(yè)發(fā)展

隨著科技的進步，半導體制造工藝不斷升級，對電子特氣的質量和性能要求也越來越高。這倒逼電子特氣技術的不斷創(chuàng)新和升級。技術創(chuàng)新能夠提升電子特氣的純度、穩(wěn)定性和一致性，從而滿足高端制造業(yè)對高品質電子特氣的需求。同時技術創(chuàng)新可以優(yōu)化生產工藝，提高生產效率，降低原材料和能源消耗，從而降低生產成本。此外，技術創(chuàng)新能夠推動電子特氣在更多領域的應用，如新能源、生物醫(yī)藥等新興產業(yè)，為電子特氣行業(yè)帶來新的增長點。